Hochwertige Ausrüstungsteile und
Systembaugruppen für die deutsche und internationale Hochtechnologie-Branche

 

 

 

 

 
VAKUUMTECHNIK

 

 

 

Hub-Drehdurchführungen (rotary - feed - through)

Wir entwickeln, konstruieren und produzieren Systeme für das Zuführen von flüssigen und gasförmigen Medien, bei gleichzeitiger Übertragung elektrischer Energien über axial (hebende) und radial (drehende) bewegte Systeme in vakuumtechnische Prozesse.

 

  • 20 Jahre Erfahrung in der Herstellung vakuumtechnischer Komponenten und komplexer Systembaugruppen
  • Unsere Produkte sind weltweit im Einsatz und arbeiten zuverlässig „rund um die Uhr“
  • Namhafte weltweit tätige Unternehmen der Halbleiterbranche profitieren von unserem Know How
  • Wir entwickeln innovativen Lösungen mit modernsten Hilfsmitteln 3D-CAD / CAM / FEM
  • Unsere Leistungs- und Innovationsfähigkeit spiegelt sich wieder in diversen Patenten

 

Weit mehr als 10 Jahre liefern wir Hub-Drehdurchführungen in unterschiedlichen Ausführungen und Ersatzteile an UNAXIS (einem weltweit führenden Ausrüster der Halbleiterbranche), die als Schlüsselkomponente(n) in Sputter Systeme für das Beschichten z.B. in der Halbleitertechnik, oder Optik Anwendung finden.

 

Wir haben im Laufe der Jahre eine große Anzahl von neuen Systemen geliefert, repariert bzw. instandgesetzt und uns als zuverlässigen Partner im Markt positioniert.

 

Auf Grund einer Umstrukturierung dürfen wir im Einvernehmen mit unserem Kunden inzwischen namhafte Unternehmen des US-Marktes zu unseren Kunden zählen.

 

   
 NEUANLAGEN          ERSATZTEILE         REPARATUR / INSTANDSETZUNG
  • Sputter System ZH 620 Fabrikat LEYBOLD bzw. UNAXIS Prozess CORONA
  • Sputter System ZH 620 Fabrikat LEYBOLD bzw. UNAXIS Prozess EMERALD
  • Sputter System ZH 620 Fabrikat LEYBOLD bzw. UNAXIS Prozess VANGUARD
  • Sputter System ZH 660 Fabrikat LEYBOLD bzw. UNAXIS
 REPARATUR / INSTANDSETZUNG durch REINHARD FEINMECHANIK GmbH
  • Anerkanntes Service-Unternehmen für Hub-Drehdurchführungen
  • Sach- und fachgerechte Reparatur / Instandsetzung in Hersteller-Qualität
  • Aktualisieren der Systeme durch Aufrüstung an den aktuellen Stand der Technik
  • Verwendung von originalen Ersatzteilen für eine zuverlässige Funktion
  • Funktionssicherheit durch herstellerspezifische Funktionstests
  • Gewährleistung reparierter / instand gesetzter Systeme
  • Kalkulierbare Kosten / Kostenvoranschlag
  • Zügige Ausführung der Reparatur
  • Ersatz-Systeme ( in Planung )
   

Hub-Drehdurchführung ZH 620,  Typ GY (ohne Verkleidung und Antriebselemente)

 

 

 

Drehdurchführung für Substratteller Z 660 (ohne Antriebselemente)

 

 

 

Drehdurchführung für Blende 1

 

Sputter System

Baureihe1 Typ 1) Materialnummer1 Konstruktionsmerkmale1
ZH 620 2.10 NX LH 102011990 n23.5 / n23.5
ZH 620 2.00 NX LH 10042046 n20 / n100
ZH 620 2.10 GY LH 102012065 n23.5 / n23.5
ZH 620 2.00 GY LH 10056414 n20 / n100

ZH 620

2.10 SX LH 102012064 n23.5 / n23.5
ZH 620 2.00 SX LH 10059204 n20 / n100
ZH 620 2.10 GEM LH 102011112 n23.5 / n23.5
ZH 620 2.30 NZ LH 102009705 n23.5 / n23.5 / MFSmodule
ZH 620 3.00 GV LH 102032895 n23.5 / n23.5 / MFSmodule  
ZH 620 4.00 GW LH 102144226 GV / ESSmodule  (pat.)
ZH 620 2.31 NA LH 102060955 NX / n23.5 / n23.5 / MFSmodule / HF-Box Br.3
ZH 620 2.11 NB LH 102055203 NX / n23.5 / n23.5 / RWDR / HF-Box Br.3
ZH 620 2.01. NB LH 102076754 NX / n20 / n100 / RWDR / HF-Box Br.3 
ZH 620 2.21 NC LH 102052345 NX / n46.5 / n23.5 / RWDR / HF-Box Br.3
ZH 620 2.11 GB LH 102055279 GY / n23.5 / n23.5 / RWDR / HF-Box Br.3
ZH 620 2.01 GB LH 102077426 GY / n20 / n100 / RWDR / HF-Box Br.3
         
Sputter System Baureihe   Materialnummer Konstruktionsmerkmale
Z 660 09   LH 42310466 Drehdurchführung für Substratteller
1) Kennzeichnung am Flansch mit Typkennzeichen und Seriennummer

 

 

 

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